Pfeiffer Vacuum ontwierp de meertraps rootspompen van de ACP-serie voor olie- en deeltjesvrije toepassingen in het drukbereik tussen atmosferen tot 3 · 10-2 hPa. De G-versie van de pompen leent zich voor het transport van sporen van corrosieve gassen.
Lichte processen
Lichte processen vereisen steeds meer schoon en droog vacuüm. De meertraps Roots-pompen van Pfeiffer Vacuum lenen zich voor industriële en Research & Development-toepassingen en voor back-end- en procesbewaking in de halfgeleidermarkt.
Op basis van de technologie van de droge meertrapswortelpompen biedt Pfeiffer Vacuum een brede selectie pompen voor lichte processen. Zij combineren een constante prestatie tijdens de levensduur van de pomp en robuustheid met een hoge betrouwbaarheid, aldus de fabrikant.
Luchtgekoelde meertraps rootspompen
De meertraps rootspompen van de ACP-serie zijn volgens de fabrikant bedoeld voor olie- en deeltjesvrije toepassingen in het drukbereik tussen atmosferen tot 3 · 10-2 hPa. De speciaal ontwikkelde G-versie leent zichvoor het transport van sporen van corrosieve gassen. Deze versie van de ACP-serie beveelt het bedrijf aan voor transferkamers, procesbewakingssystemen en ionenbundeltoepassingen. De CV-versievan de luchtgekoelde ACP-serie met een waterdampcapaciteit tot 1.000 gram per uur dient om stoomcondensatie in het pompblok te voorkomen.
Verschillende versies
De ACP-pompen beschikken op basis van standaardversie verschillende mogelijkheden om aan te sluiten bij specifieke vereisten.
- De Fluorvrije pompoplossing: heet SH- en R-versie,
- De serie met weerstand tegen nucleaire straling: R–versie,
- Voor recycling of terugwinning van hoogwaardige gassen: de CP-versie.
- De ACP 120 G en ACG 600 G dienen vooral voor industriële toepassingen
Op basis van de tienduizenden wereldwijd geïnstalleerde halfgeleiderprocespompen biedt de ACP 120 G ook in industriële toepassingen de voordelen van de meertraps Roots-pompen. De watergekoelde pomp beschikt over een spoelgasleiding voor licht-corrosieve processen of voor het verpompen van condenseerbare mediums. In combinatie met rootspompen leent de ACP 120 G zich ook voor verschillende gemalen. Het Roots pompstation ACG 600 G vormt de basis van een volledig smeermiddelvrij pompsysteem voor vacuümoplossingen in de decoratieve of gereedschapscoating.
Compact
Het ontwerp van de compacte droge pompen A 100 L en A 200 L leent zich voor de kostenbesparende integratie in halfgeleiderproductiesystemen. De A 200 L is geoptimaliseerd om te voldoen aan de zwaarste, frequente pompcycli van het pompen van belasting/sloten. Denk aan toepassingen als lastvergrendeling, transferkamers, sputteren, Pvd en metrologie.
